2月1日消息，国家知识产权局信息显示，广东华兰海电测科技股份有限公司申请一项名为“一种宽温区硅压力传感器芯片的MEMS优化工艺”的专利，授权公告号CN119750493B，授权公告日为2026年1月30日。申请公布号为CN119750493A，申请号为CN202510227997.2，申请公布日期为2026年1月30日，申请日期为2025年2月28日，发明人何富添、温志总、姜褔广、伍德常，专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理有限公司，专利代理师王爱军，分类号B81C1/00、B81C3/00、G01L1/18。
专利摘要显示，本发明公开了一种宽温区硅压力传感器芯片的MEMS优化工艺，包括在双面抛光的硅晶圆上形成蜂窝状应力缓冲腔，在SOI晶圆的顶硅层表面生成双层复合膜，之后键合形成异质结构；在SOI晶圆的顶硅层表面，通过三次变角度离子注入工艺形成深度方向掺杂浓度梯度，并通过电子束光刻工艺制作温度补偿电极，构建梯度掺杂的压阻网络，表面生长波纹状SiON介质层，刻蚀锥形通孔，并采用脉冲电镀工艺填充铜金属实现内部互连，形成金属互连结构；在其表面依次沉积梯度SiNX薄膜，在异质结构的表面涂覆Au/Sn共晶焊料，在封装腔体内集成微型Pt温度传感器，涂覆聚硅氮烷复合保护层，有效提升了芯片在宽温区范围内的性能稳定性与抗温度变化的可靠性，适应复杂的高温低温环境条件。
天眼查数据显示，广东华兰海电测科技股份有限公司成立日期2003年7月23日，法定代表人伍岳鹏，所属行业为仪器仪表制造业，企业规模为中型，注册资本4888.8925万人民币，实缴资本2500万人民币，注册地址为东莞市麻涌镇大盛工业园。广东华兰海电测科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目72次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息180条，拥有行政许可36个。
广东华兰海电测科技股份有限公司近期专利情况如下：
- 序号
- 专利名称
- 专利类型
- 法律状态
- 申请号
- 申请日期
- 公开(公告)号
- 公开(公告)日期
- 发明人
- 1一种测量大应变的应变结构及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511052327.82025-07-29CN120651184A2025-09-16龙福密、唐敏、叶锦堂、宋齐、伍岳鹏
- 2一种扩散硅压力传感器机芯座及制造工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510939411.52025-07-08CN120721285A2025-09-30何富添、周芝芝、陈文卫、伍岳鹏
- 3弓型应力传感器弹性体外观专利授权CN202530304503.72025-05-28CN309752162S2026-01-27刘杰升、伍岳鹏
- 4一种六维力传感器的解偶结构及解偶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510654274.02025-05-21CN120445506A2025-08-08黄国权、龙福密、丁斌、伍岳鹏
- 5一种多维力传感器装置发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202510606537.02025-05-12CN120213304A2025-06-27龙福密、丁斌、阳文、伍德常、伍岳鹏
- 6手机套吊勾秤外观专利授权CN202530127500.02025-03-17CN309558717S2025-10-24曹雪妃、伍岳鹏
- 7一种宽温区硅压力传感器芯片的MEMS优化工艺发明专利授权CN202510227997.22025-02-28CN119750493B2026-01-30何富添、温志总、姜褔广、伍德常
- 8一种高温耐压MEMS压力传感器及其封装技术发明专利授权、公布CN202510218343.32025-02-26CN119750485B2025-10-21唐敏、周芝芝、王铧宝、伍德常
- 9吊钩秤传感器弹性体外观专利授权CN202530064967.52025-02-14CN309504326S2025-09-19温志总、伍岳鹏
- 10一种连体孔柱式称重传感器实用新型授权CN202520037590.92025-01-08CN223596985U2025-11-25阳文、龙福密、丁斌、伍岳鹏
- 11一种带有压头的称重传感器实用新型授权CN202422211988.82024-09-10CN223037225U2025-06-27阳文、丁斌、唐敏、伍岳鹏
- 12智能自适应电子围栏系统及其控制方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202410568617.72024-05-09CN118155352B2024-07-09龙福密、温志总、刘建华、万聪、伍岳鹏
- 13一种电子围栏装置实用新型授权、公布CN202420995355.82024-05-09CN222253411U2024-12-27丁斌、周芝芝、董剑、曹雪妃、伍岳鹏
- 14一种双剪箱式传感器实用新型授权CN202420170531.42024-01-24CN221706795U2024-09-13黄国权、温志总、陈文卫、伍岳鹏
- 15一种动静组合防倾覆模块称重传感器发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202410047330.X2024-01-12CN117870839B2024-06-25阳文、龙福密、丁斌、伍岳鹏
- 16极简型一体化称重受力装置实用新型授权CN202321524226.22023-06-15CN220270589U2023-12-29曹雪妃、唐敏、阳文、伍岳鹏
- 17一种便携式称重环卫秤实用新型授权CN202321414272.72023-06-06CN220153724U2023-12-08黄国权、温志总、周芝芝、伍岳鹏
- 18一种打磨用防堵塞真空吸附平台实用新型授权CN202320483520.72023-03-14CN219403916U2023-07-25叶锦堂、龙福密、伍德常
- 19一种电阻应变片焊盘打磨机实用新型授权CN202320483720.22023-03-14CN219967429U2023-11-07叶锦堂、何富添、伍德常
- 20一种人体平衡能力测试仪实用新型授权CN202320271756.42023-02-21CN219439091U2023-08-01龙福密、曹雪妃、刘建华、伍岳鹏
- 21截面传感器（C型）外观专利授权CN202230675536.92022-10-13CN307755135S2022-12-27伍德常
- 22一种称重窄条传感器装置实用新型授权CN202222697607.22022-10-13CN218297329U2023-01-13伍德常、黄国权、龙福密
- 23一种平面全包围斜梁式称重传感器实用新型授权CN202222576036.72022-09-28CN218469973U2023-02-10伍德常、柳滔、龙福密
- 24一种后挂垃圾车称重系统实用新型授权CN202221801150.92022-07-12CN217919629U2022-11-29伍德常、阳文
- 25全密封平行梁传感器外观专利授权CN202230290717.X2022-05-17CN307516149S2022-08-26伍德常
- 26一种多只传感器绝缘电阻和电阻快速判定电路实用新型授权CN202220946448.22022-04-22CN217561608U2022-10-11伍德常、赵祥林
- 27一种称重传感器修四角的自动接线调整电路实用新型授权CN202220816377.42022-04-11CN217059008U2022-07-26伍德常、赵祥林
- 28一种自助餐称重装置实用新型授权CN202122666776.52021-11-02CN216483458U2022-05-10伍德常、郑日飞、刘建华
- 29车轮称重传感器弹性体外观专利授权CN202130700654.62021-10-26CN307167616S2022-03-15伍德常
- 30人体秤传感器弹性体外观专利授权CN202130631382.92021-09-23CN307053754S2022-01-07伍德常
- 31厨房秤传感器弹性体外观专利授权CN202130593449.42021-09-08CN307053749S2022-01-07伍德常
- 32一种可识别车载人数的电动单车实用新型授权CN202122024104.42021-08-25CN215448161U2022-01-07伍德常、龙福密、阳文
- 33一种测量电阻应变片输出值的测试装置实用新型授权CN202121366107.X2021-06-18CN214747757U2021-11-16伍德常、曾晓群、蔡琴
- 34一种高精度测量传感器的输出值和电阻值的电路实用新型授权CN202121370670.42021-06-18CN215728466U2022-02-01伍德常、胡媛、赵祥林
- 35桥式传感器外观专利专利权的终止、授权CN202030717311.62020-11-25CN306468395S2021-04-16伍德常
- 36一种桥式传感器及秤体实用新型专利权的终止、授权CN202022783839.02020-11-25CN213397294U2021-06-08伍德常、龙福密、阳文、朱方友
- 37一种一体柱式传感器发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202011105799.22020-10-15CN112284498A2021-01-29伍德常、龙福密、阳文
- 38一种一体柱式传感器实用新型授权CN202022305450.52020-10-15CN213090961U2021-04-30伍德常、龙福密、阳文
- 39机器人传感器弹性体外观专利专利权的终止、授权CN202030597832.22020-10-09CN306400462S2021-03-23伍德常
- 40人体秤传感器弹性体外观专利专利权的终止、授权CN202030597831.82020-10-09CN306400600S2021-03-23伍德常
- 41一种整体式窄条传感器实用新型授权CN202020963051.52020-05-29CN211954386U2020-11-17伍德常
- 423D打印机传感器弹性体外观专利授权CN202030171081.82020-04-23CN306002910S2020-08-21伍德常
- 43一种窄条式薄板称重台实用新型授权CN202020409584.92020-03-26CN211668630U2020-10-13伍德常
- 44一种车辆轮轴应力收集装置及收集方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202010203090.X2020-03-20CN111272315A2020-06-12伍德常
- 45一种无线桥式称重传感器地磅实用新型授权CN202020368900.22020-03-20CN211783795U2020-10-27伍德常
- 46一种车辆轮轴应力收集装置实用新型授权CN202020368426.32020-03-20CN211783981U2020-10-27伍德常
- 47一种通用秤脚及带有通用秤脚的电子秤发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202010005129.72020-01-03CN111121942A2020-05-08伍德常
- 48一种通用秤脚及带有通用秤脚的电子秤实用新型授权CN202020016036.X2020-01-03CN211178715U2020-08-04伍德常
- 49一种无螺纹的称重传感器实用新型授权CN202020015580.22020-01-03CN211317492U2020-08-21伍德常
- 50一种具有称重传感器的货车实用新型授权CN202020015577.02020-01-03CN211592373U2020-09-29伍德常
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